工場の設備増設に伴う純水圧不足やその変動は、純水昇圧ユニットが解決！

純水の安定供給は、半導体デバイス生産での品質と歩留りに影響する重要な要素です。
コンパクトなユニットなので、限られた設置スペースにも、設置頂き易くなっています。

処理プロセスに合せ、昇圧ユニットとプロセス装置を “1対1” 構成から複数台構成として最適化できます。
帯電防止機能付き純水昇圧ユニットとの組み合わせも効果的です。

サブ・ファブ移設で、クリーンルームのスペースを削減！

加温ユニットや帯電防止ユニットは、昇圧機能付きとすることで、サブ・ファヴへ機能移設が可能！ 高価なクリーンルームのスペースが削減できます。

純水昇圧ユニット

純水供給圧の不足や変動を解消。

機能豊富な高性能仕様で、厳しいプロセス要求にも対応。
ユニット機能に対し、コンパクトなデザインを実現。
ベアリングのない磁気浮上型遠心ポンプの採用で、低発塵性能と耐久性能を実現。
2次側圧力の常時監視を行い、フィードバック制御。

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＜昇圧機能付き＞純水加温ユニット

高性能な純水加温ユニットに昇圧機能をプラス。
さまざまな環境に柔軟に対応。

2 in 1設計による省フットプリントを実現。投資コスト低減にも寄与します。

• コンパクト・高効率・クリーン設計
  場所を取らないコンパクト設計。加熱効率96％の高性能に加え、加熱容器に石英ガラス、主要配管部にフッ素樹脂を使用したクリーン設計です。
• 短時間起動の省エネ運転
  独自の石英タンク構造と制御機構により、加温起動が早い省エネ設計。また、電子制御による温調で細やかな温度特性を実現します。
• 昇圧機能搭載
  昇圧機能を搭載しているので、1次側に圧力変動があっても、常に安定した純水供給が可能。
  ベアリングのない磁気浮上型遠心ポンプを採用しているので、クリーンな環境を維持できます。

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