トピックス｜TOPICS

純水昇圧ユニット

ベアリングレスポンプにより、パーティクルの発生を大幅にカット。

特徴

（1）ベアリングレスポンプのインペラ非接触回転により、パーティクルの発生を大幅に低減。
（2）フィードバック機能により外乱の影響を制御し、純水を安定供給。
（3）インペラ非接触回転により、大幅な長寿命化と低ランニングコストを実現。
（4）従来のベローズポンプと比べ、省スペース化を実現。

クォーツ式ウエハ温度計測システム　PS-317/DMT-800

SEBACSはこのたび、（株）SOKUDO※1と東京電波（株）※2が共同で開発した、水晶温度センサーを応用した高精度ウエハ温度計測システムを発売します。
水晶温度センサーは一定の温度係数をもった水晶振動子の周波数を測定することにより、非常に高精度に温度を計測できる温度センサーです。コータ・デベロッパで躍進しているSOKUDOと、水晶振動子で高い技術力を誇る東京電波との共同開発により、高分解能で再現性良くウエハ温度の計測を行うことが可能になりました。
従来のウエハ温度計においては、1/100℃度（10ｍ℃）程度までの測定が限界でしたが、コータ・デベロッパ等の半導体製造機器では、微細化が進む中、処理中のウエハ温度をさらに高精度に測定したいという要求が高まってきております。周波数は計測する事のできる単位の中で、最も高精度に測定できる単位として知られおり、水晶の持つ固有周波数の変化を測定するにより、1/10000℃（0.1ｍ℃）までの分解能で温度計測が可能になりました。水晶度センサーは自己発熱が少なく、またノイズの影響を受けにくいため、信頼性
高く、開発現場においては、今まで見えなかった熱処理中のウエハの熱履歴が観測できるようになり、次世代の熱処理プレート等の開発に利用されています。

※1「大日本スクリーン製造（株）」と「Applied Materials, Inc.」との合弁により設立された、コータ・デベロッパ事業の専業メーカー
※2人工水晶、水晶振動子、フィルタ等の水晶製品事業、水晶温度計、無線応用システム等の電子機器事業を主力事業とするメーカー

特徴

全チャンネル完全同時計測
温度分解能：0.1m℃を実現

【発売予定】：2007年夏
発売予定および装置仕様は、予告なく変更することがあります。