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CMPスラリーにダメージを与えない新送液システムを搭載し、脈動のない安定したスラリー供給を可能にすることで、凝集生成物の抑制や、スラリー液とフィルターの長寿命化を実現します。これらにより、デバイスの歩留まり向上と装置のランニングコストの削減に貢献します。 |
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Ceria、オキサイド、タングステンなどのスラリー供給システムを、ぜひご用命ください。
メンテナンスサービスを通して現場の課題を知り尽くしたSEBACSがお届けします。
Ceria用スラリー供給システム
特長
- ● 搬送ポンプ
- スラリー供給のために最適化されたポンプを採用することにより、機械的破砕に起因する凝集物生成の抑制、フィルター使用期間の延長、フィルター圧損に影響 されない定流量制御、脈動のないスラリーの吐出によるCMP処理時の気泡発生の抑制など、スラリーに優しい搬送と安定した供給を実現し、製品の歩留まりを 向上させます。
システムレイアウト
● 本体 2,200（Ｗ）×1,500（D）×1,900（H）
オキサイド用スラリー供給システム
特長
- ● ウエットN2加圧システムがパーティクルサイズを最小化
- 加熱したDIWとウエットN2を使用した湿度調節機能は、パイプ内におけるスラリーの固化を防ぎ、CMP運転でパーティクルサイズを最少にします。
システムレイアウト
● 本体 1,800（Ｗ）×1,600（D）×2,000（H）
タングステンスラリー供給システム
特長
- ● ウエットN2加圧システムがパーティクルサイズを最小化
- 加熱したDIWとウエットN2を使用した湿度調節機能は、パイプ内におけるスラリーの固化を防ぎ、CMP運転でパーティクルサイズを最少にします。
システムレイアウト
● 本体 2,200（Ｗ）×1,800（D）×2,000（H）
