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開発商品

純水昇圧ポンプユニット

純水供給圧の不足・変動でお困りのお客さま。朗報です!

CMPスラリー供給システム製品画像

特長

  • SEBACSの純水昇圧ポンプユニットは、非接触の磁気浮遊型ベアリングレスポンプの採用により、従来の昇圧ユニットをはるかにしのぐ低発塵性と耐久性を実現しています。
  • 昇圧時のターゲット(目標)圧力を設定するだけで、フィードバック制御による脈動のない安定した純水供給が可能です。
  • 供給装置との通信仕様など、お客さま独自のさまざまなご要望にも柔軟に対応できます。

※大日本スクリーン製造(株)の洗浄装置への採用実績あり

参考仕様: PULE-BPS3

寸法 650mm(幅)×700mm(奥行き)×700mm(高さ)
(1、2次側接続配管部分は含みません)
重量 60kg
ポンプ レビトロニクス社製SEBACS仕様:BPS-3
ポンプ単体仕様 最大流量:75L/min 最大吐出圧:0.25Mps
消費電力 AC100V  Ave. 0.5kW (Max. 1kW)

参考仕様: WBU-041

寸法 1,200mm(幅)×1,400mm(奥行き)×1,830mm(高さ)
(1、2次側接続配管部分は含みません)
重量 430kg
ポンプ Levitronix社製SEBACS仕様:BPS-4
ポンプ単体仕様 最大流量:120L/min 最大吐出圧:0.45Mps
消費電力 AC200V  Ave. 1.0kW (Max. 2.0kW)

 

使用例: 昇圧+圧力FB制御 (圧力-流量特性)

昇圧+圧力FB制御 (圧力-流量特性)