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ポンプを使用したアプリケーション製品一覧
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| CMPスラリー供給システム | 純水昇圧ポンプユニット |
| CMPスラリーにダメージを与えない新送液システムを搭載し、脈動のない安定したスラリー供給を可能にすることで、凝集生成物の抑制や、スラリー液とフィルターの長寿命化を実現します。これらにより、デバイスの歩留まり向上と装置のランニングコストの削減に貢献します。 | SEBACSの純水昇圧ポンプユニットは、非接触の磁気浮遊型ベアリングレスポンプの 採用により、従来の昇圧ユニットをはるかにしのぐ低発塵性と耐久性を実現しています。 |
