HOME > 開発商品 > カスタマイズ製品 > ウエットベンチ
モジュール方式を採用し、
|
 |
特長
- モジュール方式の採用により、短納期対応を実現。ご希望の薬液処理と水洗処理の組み合わせが可能です。
- 水洗処理のみの場合は、オープンタイプも可能です。
- 薬液供給ユニットとの接続が可能です。
- HEPA(ULPA)フィルターの搭載が可能です。
装置本体仕様
| 装置寸法 | 1680mm(幅)×1450mm(奥)×1800mm(高) |
|---|---|
| 装置材質 | ＰＶＣ |
| 処理ウエハサイズ | 6inchまたは、5inch |
| 処理カセット数 | 2カセット |
| 搬送方法 | 手動式 |
| メンテ部開口扉 | 開閉式・・・左右スライド式(手動式) |
処理槽仕様一覧表
| 硫酸槽 | QDR槽 | 水洗槽 | |
|---|---|---|---|
| 使用薬液 | 硫酸＋過酸化水素水 |
純水 |
純水 |
| 槽材質 | 石英 |
PVC(透明) |
PVC(透明) |
| 槽形状 | 循環オーバーフロー槽 |
四面オーバーフロー式 |
四面オーバーフロー式 |
| 処理温度 | 130℃±5℃ |
－ |
－ |
| オートカバー | PFA製オートカバー |
－ |
－ |
| 配管材 | PFA,PVC |
－ |
－ |
| シャワー | － |
シャワー機能付 |
－ |
| 給水 | － |
アップフロー付 (バイパス付エアーバルブ) |
アップフロー付 (バイパス付エアーバルブ) |
| 排水 | アスピレ-タドレン |
急速排水機能付 エアー弁制御 |
－ |
