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半導体製造プロセスに不可欠な石英管を、
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特長
- 石英炉心管・石英冶具を専用バスケットにより、薬液洗浄・水洗を自動的に処理を行います。
- 石英炉心管を回転洗浄により、均一な洗浄を行います。
- シーケンス選択により、効率的な水洗が可能です。
- 薬液供給機能の搭載が可能です。
- HEPA(ULPA)フィルターの搭載が可能です。
装置本体仕様
| 装置寸法 | 310mm(幅)×1100mm(奥)×2400mm(高) |
|---|---|
| 装置材質 | ＰＶＣ |
| 洗浄可能石英管 | 直管タイプ(細管付) |
| 作業部開口扉 | 開閉方向…上下スライド式(手動式) ※前面扉前に吸気調整用パンチングスライド |
処理槽仕様一覧表（参考例）
| 処理槽1 | 処理槽2 | |
|---|---|---|
| 使用薬液 | フッ酸+（硝酸）＋純水 | 純水 |
| 槽材質 | PVC | PVC |
| 概算槽容量 | 500L | 550L |
| 処理温度 | 常温 | 常温 |
| アップフロー | 無 | 有 |
| シャワー | 無 | 有 |
| 排水切換機能 | 無 | 選択仕様 |
| 液供給方法 | 20Lポリタンクよりポンプ供給 （フッ酸、硝酸）（選択仕様） |
ライン供給 |
| 液面管理 | N2センサー | N2センサー |
