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回転テーブルを採用した、置き場所を選ばない |
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特長
- ロータリー・テーブル方式を採用。省スペース設計です。
- 石英炉心管の接触面はテフロンを使用。発塵防止効果があります。
- 石英ボートは、側面引き出し式ボート保管方式を採用。省スペース化を図りました。
- HEPA(ULPA)フィルターの搭載が可能です。

装置本体仕様
| 装置寸法 | 1700mm(幅)×1540mm(奥)×2258mm(高) |
|---|---|
| 装置材質 | PVC(アイボリー) |
| 保管可能石英管 | (1)φ257×1097L(フランジ径 φ306)・・・・4本 (2)φ191×1095L(フランジ径 φ209)・・・・4本 |
| 保管可能石英ボート | (1)φ160×1072L・・・・・5本 |
| クリーンユニット | 0.3цm以上粒子にて、99.99%以上(集塵効果) AC100V 1φ |
