SEBACSはそれを実現するため、ここでご紹介する装置を、お客様仕様に最適にカスタマイズし納入致します。
カスタマイズ製品一覧
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| ドラフトチャンバー | ウエットベンチ | 薬液供給ユニット |
| 半導体製造プロセスを強力にサポートする 洗浄専用ドラフトチャンバー。 | モジュール方式を採用し、さまざまなウエーハ洗浄プロセスに対応。薬液の消費を抑え、ランニングコストの軽減に貢献します。 | タンク自動切換システムを採用し、安定した薬液の連続供給を実現。200Lタンクをはじめ、さまざまなオプションをご用意しました。 |
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| 石英管洗浄機 | 石英管保管庫 | 排気除害装置 |
| 半導体製造プロセスに不可欠な石英管を、優しく安全に自動洗浄。槽数、洗浄方法、排水方法など、さまざまなカスタマイズに対応します。 | 回転テーブルを採用した、置き場所を選ばない省スペース石英管保管庫。大切な石英管を、クリーンに、そして安全に保管します。 | 充填材方式により、水溶性の高いガスを気液接触させて、優れた除去性能とスペース効率を高い次元で実現しました。 |
