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半導体製造プロセスを強力にサポートする、
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特長
- 装置前面扉はスムーズな上下スライド式または、左右両開き式を選択できます。
- 扉の開口部は、ご希望に応じて、幅広く対応します。
- 薬液供給ユニットとの接続も可能です。
装置本体仕様
| 装置寸法 | 1200mm(幅)×1000mm(奥)×1915mm(高) |
|---|---|
| 装置材質 | ＰＶＣ |
| 純水用蛇口 | 2カ所 |
| 純水ハンドシャワー | 1カ所 |
| N2ハンドガン | 1カ所 |
用力取合い方向
| 純水・排気・電気 | 装置後部 |
|---|---|
| N2 | 装置側面 |
用力表
| 接続 | 材質 | 口数 | |
|---|---|---|---|
| 純水 | 16A |
PVC |
1 |
| N2 | PT1/4 |
SUS |
1 |
| 排気 | 150A |
PVC |
1 |
| 薬液ドレン | 20A |
PVC |
1 |
| 廃水ドレン | 40A |
PVC |
1 |
| 電気 | 1φ100V |
－ |
1 |
