電磁浮揚の原理を駆使した最先端テクノロジーで、半導体製造ラインの生産性向上を実現します。
微細化が加速する半導体デバイスの生産性。
それは、各プロセスで使用されるポンプの性能に左右されるといっても過言ではありません。ベアリングレスポンプは、電磁浮揚の原理を駆使したテクノロジー を搭載。非接触回転ポンプならではのパフォーマンスによりパーティクルの発生を抑え、デバイスの歩留まり向上を実現します。
また、部品の消耗を減らすことでラインのダウンタイムを削減し、生産コストも圧縮。小さなポンプの秘めたかつてないチカラで、半導体製造ラインの生産性を大きく高めます。
特長
● デバイスの歩留まりを向上
CMPプロセスにおいてベローズポンプと比べ、スクラッチの発生を
200分の1～1000分の1に削減。デバイスの歩留まりを向上させます。
● フィルタの寿命が最大15倍
ゴミやゲル状物質の発生量を削減することで目詰まりを解消。
フィルタの寿命を最大15倍に延ばします。
● 洗浄・塗布の均一性を向上
振動のほとんどないロータ回転によって流量や圧力のむらを抑制。
デバイスの品質安定に貢献します。
● 生産コストを削減
部品の消耗を減らすことで生産ラインの
ダウンタイムを最小化。生産コストを削減します。
● 省スペース設計
コンパクトなポンプにより装置の小型化を実現。
設置面積を最小限に抑えます。
● メンテナンスフリー
2年間、メンテナンスフリーで稼働します。
ロータの磁力浮揚・回転により機械的接触を解消
ベアリングレスポンプはその名のとおり、ベアリングを使用せずに電磁浮揚の原理を利用した非接触回転ポンプです。ロータを磁力で浮揚させ、モータの磁場で回転させることにより、パーティクルの発生や部品の消耗の原因となる機械的接触を解消します。ロータとケーシングは耐薬品性高純度フッ素樹脂で形成し、ロータ磁石とともにポンプヘッドとして機能。ロータのスピードを電気的に制御することで、液体の流量と圧力を高精度に調節します。
革新的な特許技術でロータの浮揚・回転を精密に制御
ロータの安定した浮揚・回転を支えるのが、モータと電磁ベアリングをユニット化した特許技術です。放射状ロータの位置と回転速度はセンサによって1秒に1 万回の割合で測定され、高性能なデジタル・シグナル・プロセッサ、そして2種類の巻線を施した固定子が磁場を制御し、浮揚と回転の安定性を高めます。
半導体製造の核となる4つの工程で大きな威力を発揮します。
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| ウェット処理 ウェット処理中のパーティクル汚染の問題を解消 |
枚葉スピン洗浄 流量と圧力の高精度な制御により洗浄の均一性を向上 |
メッキ処理 スケールの発生・付着を抑え、フィルタの目詰まりの少ない安定した処理を実現 |
CMP後洗浄 非接触によりスラリーの結晶純度を保持 |
基本システム構成および製品オプション
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| 構成 | BPS-1 ポンプシステム |
BPS-3 ポンプシステム |
BPS-4 ポンプシステム |
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| ポンプヘッド | |||
| 部品名 | CP-1 （PCA-1ポンプケーシング、IMP-1インペラ） |
CP-3 （PCA-3ポンプケーシング、IMP-3インペラ） |
CP-4 （PCA-4ポンプケーシング、IMP-4インペラ） |
| 接液部品: インペラ ポンプケーシング |
PFA PFA，PVDF** |
PFA; ECTFE PFA, PVDF** |
ECTFE PTFE** |
| フィッティング | フレアテック1/2"** |
フレアテック1"** |
フレアテック1"** |
| O-リング | カルレッツィ パーフロロエラストマー1** |
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| 最大流量 | 21liters/min |
75 liters/min |
120 liters/min |
| 最大吐出圧 | 0.16MPa |
0.25MPa |
0.45MPa |
| 最大許容液体温度 | 90°C |
90°C |
90°C |
| モータ | |||
| 部品名 | BSM-1 |
BSM-3 |
BSM-4 |
| 機械力 | 50 W |
300 W |
1200 W |
| 筐体 | ETFEコーティング水中用防水アルミニウム |
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| ケーブル | 1本、5メートル、 FEP被覆** |
2本、6メートル、 FEP被覆** |
2本、6メートル、 FEP被覆** |
| コネクタ | D-SUB** |
D-SUB /COMBICON** |
D-SUB /COMBICON** |
| コントローラー | |||
| 部品名 | LC24 |
LC48 |
LC325 |
| 電力 | 120 W |
600 W |
1500 W |
| 供給電圧 | 直流24 V |
直流48 V |
交流200-230 V (単相、3相) |
| インターフェイス | スタンドアロン運用の為のPLC, RS232, コントロールパネル | ||
**マークが付いているものはカスタム構成が可能です
1: カルレッツィはデュポン・ダウ・エラストマー社の登録商標です
アクセサリ
（1）ACM-3 空気冷却モジュール
（2）PLC-A PLCインターフェイス
（3）LUI-A ユーザインターフェイス
（4）MBP-3 取付け用ベースプレート
（5）IMP-3 インペラ
（6）IET-3 インペラ交換工具
（7）CP-3 ポンプヘッド
（8）O-リングと固定ビス
（スイス、Levitronix® 社製）
